Physiker in Dresden und Wien wollten Ende der 1970er mit der Ionen-Lithografie einen großen Coup in der Mikroelektronik landen Dresden, 4. April 2023. Den ostdeutschen Mikroelektronikern vor der Wende wird oft nachgesagt, sie hätten West-Chips nur nachgebaut, allenfalls etwas verbessert. Tatsächlich aber betrieb die DDR auch eine eigene Grundlagenforschung für die Halbleiter-Produktion. Ein Beispiel dafür war die Ionen-Lithografie, an der ab 1979 Physiker in Dresden und Ingenieure aus Österreich insgeheim zusammenarbeiteten. „Die DDR ist da ganz eigene Wege in der Lithografie-Forschung gegangen“, meint Elektronik-Kustos Dr. Ralf Pulla von den Technischen Sammlungen Dresden, der die Aufarbeitung dieses Kapitels der ostdeutschen Mikroelektronik fachlich mitbetreut. Denn das Konzept war visionär. Allerdings erwies es sich letztlich technologisch und wirtschaftlich als Sackgasse. „Doch so ist das nun einmal mit der Vorlaufforschung“, betont Pulla. „Ob etwas funktioniert, kann man vorher nicht wissen.“ Idee war, teure Ionen-Implanter breiter zu nutzen Ausgangspunkt war seinerzeit ein technologischer Schritt, der sich ohnehin in der Chipproduktion eingebürgert hatte: Normalerweise entwerfen die Ingenieure erst Schaltpläne, die sie dann auf Belichtungsmasken übertragen. Mit diesen Masken belichten dann Lithografie-Anlagen …
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